- ФТИАН
-
Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения информационных технологий и вычислительных систем Российской академии наук.
Директор — академик Александр Александрович Орликовский
Проекты и исследования
- Ионно-лучевые технологии
- Плазмохимическое травление — технология создания элементов МЭМС и НЭМС
История ФТИАН
Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.
Первый директор института — академик Камиль Ахметович Валиев.
Ссылки
Wikimedia Foundation. 2010.